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ハンド＆チャック ロボット周辺機器リスト
ウエハ・液晶ハンド
枚葉型ウエハハンド WHA・WHFシリーズ
WHA・WHF
お客様のご仕様に合わせて設計製作します。
実績豊富、まずはお問い合わせください。
エッジクランプだから表裏面に接触しません。
型式表示方法
仕様
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| 型式 | WHA-200AS | WHA-300AS | WHA-450AS | WHF-200AS | WHF-300AS | |
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| 搬送ワーク | ウエハ | |||||
| ワークサイズ | φ200 | φ300 | φ450 | φ200 | φ300 | |
| 搬送方式 | エッジクランプ | |||||
| 搬送枚数 | 1枚 | |||||
| 駆動方式 | 閉方向 | スプリング（クランプ方式） | ||||
| 開方向 | バキューム圧 －60～－95kPa（負圧シリンダ採用） | |||||
| 動作ストローク | 10ｍｍ（クランプ7mm、クランプ代3mm） | |||||
| 把持力 | 3.5N | 約7N | 2.4～1.9Ｎ | |||
| クリーン度 | FED規格 クラス1（吸引要） | |||||
| フォーク材質 | CFRP | |||||
| 駒・仮受け座・パッド | PEEK | |||||
| 本体質量 | 約0.55kg | 約0.85kg | 約1.7kg | 約1.2kg | 約1.7kg | |
| オプション | 開閉確認センサ | |||||
クリーン梱包はしておりません。
ダウンロード
カタログ（仕様書・寸法図）
カタログダウンロード| 型式規格 | オプション | DXFデータ | STEP、IGESデータ |
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