ハンド&チャック ロボット周辺機器

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クリーンルーム

クリーンルーム

 

組み合わせスライド(2軸)●組み合わせスライド(2軸)
●限られたスペースで自在にレイアウト可能

走行架台付ロボットシステム様々なパターンにフレキシブルに対応。

●走行架台付ロボットシステム様々なパターンに
 フレキシブルに対応。
●素早く正確なプロセスニーズ対応

 

組み合わせスライド(2軸)●クリーンルーム内自動搬送システム
●大きな行動範囲で多目的な作業
●SMIF対応自動化システム

走行架台付ロボットシステム様々なパターンにフレキシブルに対応。

●プロセス給俳用ロボットシステム
●供給・排出及びカセット内の仕分け
 (集合・分配)システム

 

組み合わせスライド(2軸)●供給用ストッカーシステム
●プリントアライメント装置

 

 

直交ロボクリーン仕様

 

マルチコントローラー

 

マルチコントローラー
 

特長

 

●ステンレスシートと吸引ポートで
 クリーンに対応
●単体での使用はもちろん、組み合わせに
 より様々な用途にご利用いただけます

直交ロボ・スライド

 

直交ロボ・スライド

 

仕様

 

ストローク 200mm~1200mm
定格速度 ~1000mm/s
定格出力 100w~400w
定格推力 90N~360N
可搬質量 水平15Kg~50Kg
垂直5Kg~19Kg

 

 

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