ＷＨＦ　シリーズ　　センタークランプ式枚葉型ウエハハンド
WHF-300AS

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センタークランプなのでティーチングが容易になります。

特　長

• 固定搬送。
  クランプして搬送する事であらゆる搬送姿勢に対応可能です。
  装置の高速化に伴う芯ズレを防止します。
  
• ウエハ表裏に対して非接触。
  エッジのみに接触し、クランプ・吸着搬送に伴うパッド痕の心配がありません。

仕　様

型　　式		WHF-300AS
対象ワーク（シリコンウエハ）		φ300 (12ｲﾝﾁ)
搬送枚数　　　　　　　 (枚)		1
駆動方式	閉方向	スプリング
	開方向	エアー　-80kPa (-600mmHg)
動作ストローク　　　　 (mm)		10 （クランプ7　クランプシロ3）
把持力　　　　　　　　 (Ｎ)		3
ガイド方式	スライドガイド	転動体リニアガイド
	ワークガイド	仮受け座有り(PEEK材)
クリーン度		クラス１（吸引要）
本体質量　　　　　　　　(kg)		1.0
オプション		開閉確認センサ
ＣＡＤデータ