CKA−Z シリーズ  スパッタ対応チャック
CKA-40A-Z



特 長

仕 様

型  式 CKA-40A-Z
駆動源 エアー 0.3〜0.7 MPa
潤滑 無給油またはタービン油1種(ISOVG32)
可搬ワーク質量   (kg) 2.5
動作ストローク   (mm) 20
シリンダ径     (mm) φ50
ロッド径      (mm) φ20
内部容積[往復]
      (cm3/回)
36.1
本体質量      (kg) 17